特點 
●操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。 
●軟性基板也可以進行傳送操作。 
●傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)?!窨赏ㄟ^網(wǎng)絡進行遠程操作(選購品)。                        
							
                            日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機YSP63FA
                雅馬拓產(chǎn)品報價:0.00
可進行樣品傳輸系統(tǒng)定制
| 屬性 | 參數(shù) | 
| 模式 | RIE(DP模式選購) | 
| 高頻輸功率 | 600W | 
| 反應臺尺寸 | W385×D362mm | 
| 反應氣體 | 2進氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣) | 
| 反應氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 | 
| 氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 | 
| 內(nèi)腔尺寸 | W395×D378×H45mm(內(nèi)尺寸) | 
| 外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm | 
| 真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式真空泵(約500L/min) | 
內(nèi)蒙古儀誠科學實驗室設備有限公司.png)





