用途 
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理 
●灰化、蝕刻處理 
●塑料封裝前處理 
●印刷基板鍍層前處理 
●LED關(guān)聯(lián)部品處理 
●電子部品清洗 
●光刻膠剝離或表面殘留物去除 
●光學(xué)、金屬、機械部品等精密部件的清洗 
●包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì) 
●FCC對應(yīng) 
特征 
●600W的小型高輸出功率 
●電極可選擇1·2·3段(采購時指定) 
●可處理縱型的試料收納盒 
●可選擇RIE/DP模式(采購時指定) 
●數(shù)據(jù)記錄器(選配) 
●適配點記憶功能(選配) 
                         
							
                            日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC610
                雅馬拓產(chǎn)品報價:0.00
小型、多段式等離子清洗機。
| 屬性 | 參數(shù) | 
| 型號 | PDC610 | 
| 等離子模式 | RIE/DP(固定模式) | 
| 電極構(gòu)造 | 3段獨立平行平板(固定) | 
| 高頻輸出 | Max600W | 
| 頻率 | 13.56MHz | 
| 控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 | 
| 反應(yīng)腔尺寸 | W350×D270×H300mm | 
| 反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 | 
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) | 
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 | 
| 真空泵 | 油泵(約345L/分)·標配 | 
| 外形尺寸 | W600×D722×H700mm | 
| 外裝材質(zhì) | 不銹鋼 | 
| 電源 | 3相,AC200,50/60Hz,15A | 
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